​在晶体管、集成电路生产中，纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。集成电路生产过程中的 80%的工序需要使用高纯水清洗硅片，水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。

​反渗透系统装置：去除水中可溶性物质，使反渗透出水水质电导率≤10μs/cm ；RO储水箱：反渗透产纯水进入贮水箱贮存，配有高低水位控制器，当用水水位下降时，前端系统全自动工作，后端系统会自动停机，从而确保整套纯水系统实现自动化控制。

​有多过种工艺，离子交换加混床，反渗透加混床，或双级RO加EDI等，具体工艺流程有如下几种：1、原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阳离子交换床→阴离子交换床→混床增压泵→混合离子交换器→纯水箱2、原水箱→增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→精密过滤器→高压泵→单级反渗透装置→中间水箱→混床增压泵→混床超纯水系统→超纯水箱

​反渗透装置是该项目的预脱盐的心脏部分，经反渗透处理的水，能去除绝大部分无机盐、有机物、微生物、细菌。设计的合理与否直接关系到项目投资费用，整个系统运行经济效益，使用寿命，操作可靠简便性。​反渗透装置膜组件选用代表当今国际最高水准的美国海德能公司提供超低压节能型的聚酰胺复合膜，该组件由三层薄膜复合，表面层为芳香聚酰胺材质，厚度约为 2000埃，并由一层微孔聚砜层支撑,可承受高压力，对机械张力及化学...

​超纯水系统通常是反渗透装置后面加装混床或EDI装置，产水电导率1US以下，电阻率10兆欧以上。混床超纯水系统是通过阴、阳离子交换树脂对 水中的各种阴、阳离子进行置换的一种传统水处理工艺，阴、阳离子交换树脂按不同比例进行搭配可组成离子交换阳床系统，离子交换阴床系统及离子交换混床系 统，而混床系统又通常是用在反渗透等水处理工艺之后用来制取超纯水，高纯水的终端工艺，他是目前用来制备超纯水、高纯水不可替...

​超滤是一种加压膜分离技术，即在一定的压力下，使小分子溶质和溶剂穿过一定孔径的特制的薄膜，而使大分子溶质不能透过，留在膜的一边，从而使大分子物质得 到了部分的纯化。超滤原理也是一种膜分离过程原理，超滤利用一种压力活性膜，在外界推动力(压力)作用下截留水中胶体、颗粒和分子量相对较高的物质，而水 和小的溶质颗粒透过膜的分离过程。通过膜表面的微孔筛选可截留分子量为3x10000—1x10000的物质。