一、工业超纯水机概述:
工业超纯水设备主要在半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国把工业超纯水技术分为五个等级,分别为18兆、15 兆欧、10兆欧、2兆欧、0.5兆欧、0.1兆欧等。
二、工业超纯水机 工业水处理设备 工业超纯水设备工艺流程:
工业超纯水机的工艺大致分为以下3种:
1、采用离子交换树脂制备的传统超纯水工艺:
其工艺流程为:原水箱→原水增压泵→机械过滤器→活性碳过滤器→精密过滤器→阳离子交换床→阴离子交换床→混合离子交换器→超纯水箱
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备结合的超纯水工艺,是目前常用且经济的超纯水制取方法:
其工艺流程为:原水箱→原水提升泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→软化水过滤器→阻垢剂加药装置→还原剂加药装置→精密过滤器→反渗透高压泵→反渗透装置→纯水箱→混床增压泵→混合离子交换床→去离子超纯水箱
3、采用反渗透装置加EDI结合的方法制取超纯水,该工艺目前是超纯水品质比较高的超纯水工艺,其占地面积小,操作简便,重要的是不污染环境,是当今发展潜力巨大的高纯水制工艺:
其工艺流程为:原水箱→絮凝加药装置→石英砂过滤器→活性炭过滤器→SBS还原剂加药装置→软化水装置→阻垢剂加药系统→保安过滤器→一级水处理高压泵→一级反渗透设备→中间水箱→PH调节加药系统→二级纯水设备高压泵→二级反渗透水处理机→RO纯水箱→EDI增压水泵→EDI电去离子设备→核级抛光混床装置→紫外线杀菌器→0.22U微孔膜过滤器→用水点
三、工业超纯水机 工业水处理设备 工业超纯水设备的特点:
工业超纯水系统均设有液位控制器、高低压水泵均设有高低压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程全自动控制器,真正做到了无人值守的目的,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使该设备运行更稳定可靠。
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